光學(xué)在菲希爾儀器中的應(yīng)用

FischerX射線和中子光學(xué)
開發(fā)和制造用于X射線束整形的高精度毛細(xì)管光學(xué)系統(tǒng)是德國Fischer公司的一項(xiàng)技術(shù)核心能力。這些部件是Fischer研制的用于微結(jié)構(gòu)測(cè)量的現(xiàn)代微束X射線熒光設(shè)備的基礎(chǔ)

應(yīng)用
薄涂層和極薄涂層的測(cè)量以及復(fù)雜多層系統(tǒng)的分析：

硅片和PCB上的鍍層
焊盤中銀含量的測(cè)量
貼片元件
插入式觸點(diǎn)
引線框架
微量元素和膜層厚度映射
用于X射線束聚焦的高精度毛細(xì)管光學(xué)器件的開發(fā)和制造是我們的核心技術(shù)能力之一。由于這些組件，Helmut Fischer的XRF儀器能夠在最小的樣件和微結(jié)構(gòu)上進(jìn)行測(cè)量。作為僅有的兩家制造商之一，我們確保創(chuàng)新和高的測(cè)量精度。

多毛細(xì)管光學(xué)在XRF分析中的重要性
除了使用高亮度的微焦射線管和高效的能量色散探測(cè)器外，多毛細(xì)管光學(xué)的應(yīng)用對(duì)于XRF光譜儀的最佳測(cè)量性能也是決定性的。多毛細(xì)管將激發(fā)光束非常高強(qiáng)度的集中在一個(gè)的小光斑上，從而顯著縮短測(cè)量時(shí)間。納米技術(shù)和微電子學(xué)領(lǐng)域的現(xiàn)代發(fā)展正在增加對(duì)更高空間分辨率的需求。長期以來，X射線束高能范圍內(nèi)的空間分辨率被所謂的光暈效應(yīng)所影響。這種影響導(dǎo)致樣品表面上測(cè)量點(diǎn)的橫向分辨率明顯降低，從而導(dǎo)致定量材料分析中的成分測(cè)量錯(cuò)誤。由于我們多年的經(jīng)驗(yàn)和有效的開發(fā)工作，我們不僅能夠減少光暈效應(yīng)，而且能夠生產(chǎn)無光暈的多毛細(xì)管。

毛細(xì)管光學(xué)作為銳利的X射線探針
在Helmut Fischer，您將受益于近30年來在開發(fā)適用于廣泛應(yīng)用的優(yōu)化多毛細(xì)管方面的專業(yè)知識(shí)。光學(xué)原理基于玻璃毛細(xì)管內(nèi)光滑表面上的全外反射效應(yīng)。全反射的臨界角取決于X射線束的能量、反射材料的密度和反射表面的粗糙度。由于玻璃具有非常低的粗糙度，因此它是制造X射線毛細(xì)管光學(xué)器件的有效材料。毛細(xì)管光學(xué)在毛細(xì)管內(nèi)表面上的反射次數(shù)方面有所不同。我們?cè)贔ischer產(chǎn)品組合中有特定的設(shè)計(jì)：圓柱形、橢圓形或拋物線形的單毛細(xì)管以及各種多毛細(xì)管。